超精密生産技術大系 第３巻
− 計測・制御技術 −
［コードNo.03FJT039］
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■造 本／
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Ｂ５判 上製クロス装幀
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■体 裁／
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９５０頁
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■発 行／
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１９９５年 ７月 ２１日 (株)フジ・テクノシステム
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■定 価／
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５０,９７１円（税込価格）
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■セット頒価／
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２０１,８４４円（税込価格）
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■執 筆 陣／
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１３０名
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| 監修 |
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| 編集代表 |
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| 第３巻編集委員長 |
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河野 嗣男 |
東京都立科学技術大学工学部機械システム工学科教授 |
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| 第３巻編集委員 |
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枝村 孝夫
小野 明
桝田 正美 |
(株)日立製作所生産技術研究所 第２部主任研究員
(株)東芝生産技術研究所生産システム研究部研究主幹
(株)日立製作所生産技術研究所 主管研究員 |
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目次
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第１編 総論
第２編 超精密計測・制御基礎論
第３編 計測技術
第４編 超精密生産用制御技術
第５編 超精密のための分析技術
第６編 超精密計測・制御の実際
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