LTCC基板の製造技術とトラブル対策
[コードNo.06STA010]

■体裁/ B5判並製本 約90ページ
■発刊/ 2006年11月30日 サイエンス&テクノロジー(株)
■定価/ 33,600円(税込価格)
LTCC基板技術の基本を理解し、開発・製造における諸問題の解決を図る!
グリーンシート、ペースト、グリーンシート積層体の焼結技術、収縮率制御技術とは!

著者
小林吉伸日本電気真空硝子(株) 第1事業部CP技術部 部長

目次
はじめに
LTCC基板の概要
 1-1LTCCの特徴
 1-2LTCC基板の市場分野
 1-3LTCC基板の開発コンセプト
LTCC基板の主要材料
 2-1グリーンシート
  2-1-1グリーンシートの製法
  2-1-2グリーンシートの基本特性
 2-2ペースト
  2-2-1LTCC基板用ペーストの特徴
LTCC基板の製造プロセス
 3-1VIAホール形成
 3-2VIAフィル充填
 3-3パターン印刷
 3-4グリーンシートの積層・プレス
 3-5グリーンシート積層体の焼成
LTCC基板製造における諸問題と対策
 4-1グリーンシートの取扱い
 4-2ペーストとの整合性
 4-3収縮率の制御
  4-3-1グリーンシートの諸特性と収縮率の関係
  4-3-2積層体プレス条件と収縮率の関係
  4-3-3焼成条件と収縮率の関係
 4-4焼成行程における諸問題
  4-4-1パターンの寸法精度
  4-4-2マイグレーションの抑制
応用技術・アプリケーション
LTCC基板使用における注意点
最後に

【※本書は以下のキーワードにわかりやすく触れています。】
■LTCC基板(概要、特徴、市場領域、実施例、開発コンセプト、主要材料)
■LTCC基板用グリーンシート、製法
■ブレードの形状、乾燥方式一覧
■成膜機、グリーンシート巻取り
■グリーンシートの要求性能と諸特性
■グリーンシート膜厚と膜厚公差
■シート膜厚プロファイル
■グリーンシートの膜厚管理
■収縮特性(X、Y、Z)
■グリーンシートの要求性能と諸特性
■Ceramic material properties GCS170 system
■LTCC基板用ペースト(種類、特徴)
■LTCC基板の製造プロセス
■VIA holl形成
■VIA holl VIA fill形成技術(NC-Punch方式)
■VIA holl VIA fill形成技術(N-Punch方式)
■VIA holl形成における注意点
■穴あけ加工による寸法変化
■狭ピッチVIA holl形成
■VIA holl形状
■VIAフィル充填
■VIA fill充填方法(Image)
■VIA holl形成における注意点
■マスク
■スキージ
■ペースト
■VIA充填性ペーストの粘度特性(レオロジー)
■ペーストのレオロジー
■VIAフィル充填状態(Image図)
■VIAフィル充填状態
■パターン印刷
■印刷技術
■スクリーン(メタルメッシュスクリーン)
■SUSスクリーンの強−伸特性曲線
■FINE LINE用スクリーンの特性要因
■メッシュ
■乳剤
■スクリーンの管理
■スクリーンまとめ
■パターンの評価
■パターン印刷における注意点
■グリーンシート積層・プレス
■積層・プレス工程における注意点
■グリーンシート積層体焼成
■LTCC基板の焼成炉
■雰囲気炉の基本構造
■BELT焼成炉の基本構造
■LTCC基板製造における諸問題と対策
■グリーンシートの取り扱い
■グリーンシート寸法の経時安定性
■グリーンシートの寸法安定化のために
■グリーンシートのフレーム貼り例
■裏貼りテープ貼り付け例
■保管方法(当社製品例)
■ペーストとの適合性・整合性
■シートアタックのチェック方法
■VIA充填性のチェック
■収縮率の制御
■グリーンシートの諸特性と収縮率の関係
■シート密度の均一性
■グリーンシート膜厚と収縮率の関係図
■シート密度と収縮率の関係
■シート膜厚とシート密度の関係
■積層体「プレス条件と収縮率の関係
■積層体密度と収縮率の関係
■機械プレスイメージ図
■機械プレスの特徴
■改善策
■WIP(温水等方圧プレス)の特徴
■WIPの課題と改善方策
■異種グリーンシート膜厚の組み合わせによる反り発生のイメージ
■導体密度(カバーレイジ)と収縮率の関係
■焼結条件と収縮率の関係
■LTCC基板焼結技術
■焼結条件と収縮率の関係(雰囲気炉の特徴)
■焼結条件と収縮率の関係(BELT炉の特徴)
■焼成条件
■Agの拡散
■Agの拡散対策
■Ag拡散対策例1
■Ag拡散対策例2
■応用技術・アプリケーション
■複合化機能
■小型キャビティー構造・表面実装・リードレス
■高熱伝導設計
■高速伝播特性の向上
■厚膜抵抗体形成
■Pattern design rule
■応用技術
■LTCC基板使用における注意点
■モジュール設計における留意点
■機能・性能の複合化・多機能化
■生産性の合理化・統合
■高信頼性(使用環境条件)
■環境問題(Pbフリー、ハロゲンフリー等)
■LTCC基板の特質
■焼結時に収縮が起きる焼結には液相反応を伴う
■焼成し基板化させる
■LTCC基板はセラミック材料である。
■まとめ

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