★マイクロプラズマ・ナノプラズマは、超高密度性・超非平衡性・超局在性・環境適応性・ 　省エネルギー性などに優れた特性を有し、環境・エネルギー・エレクトロニクス・化学・ 　食品・医療分野等へ様々な応用展開が急速に進められている！！ ★本セミナーでは、マイクロプラズマ・ナノプラズマの特性を始め、その発生法・計測法と 　利用のポイント、又、新材料開発、環境浄化、医療・バイオテクノロジー、分析・計測等 　の具体的な応用展開に至るまで、斯界の第一線でご活躍されていらっしゃる沖野博士 　に詳しく解説頂きます。

マイクロプラズマ・ナノプラズマの
特性・発生法と応用展開

●講　師	東京工業大学　大学院 総合理工学研究科　准教授 博士（工学）	沖野晃俊　氏
●日　時	２００７年　９月　２１日（金）　１０：００〜１６：００
●会　場	東京・新お茶の水・総評会館・４Ｆ・４０４室　　》》 会場地図はこちら 《《 ※急ぎのご連絡は(株)技術情報センター(TEL06-6358-0141)まで！！
●受講料	４９,９８０円（１名につき） ※テキスト代、昼食代、喫茶代、消費税分２,３８０円を含む
●主　催	(株)技術情報センター

�T．マイクロプラズマ・ナノプラズマの発生法・計測法と 　　その特性・利用のポイント 　１．プラズマとは 　２．マイクロプラズマ・ナノプラズマの特性 　　〜通常のマクロスケールプラズマと比較して〜 　　(1)超微小性 　　(2)超高密度性 　　(3)超非平衡性 　　(4)超局在性 　　(5)プラズマ媒質環境について 　　(6)環境適応性 　　(7)集積化によるプロセスの大規模化（大面積化）の容易性 　　(8)省資源、省エネルギー性 　３．マイクロプラズマ・ナノプラズマの発生法 　　(1)マイクロプラズマ・ナノプラズマの発生原理とメカニズム 　　 〜放電方式、プラズマとする物質、プラズマ生成のための電源〜 　　(2)マイクロプラズマ・ナノプラズマの発生法 　　　�@エネルギー集中型 　　　�A空間制限型 　　　�B質量制限型 　　　�Cその他 　４．マイクロプラズマ・ナノプラズマの計測法 　　(1)プローブ計測 　　(2)分光計測 　５．マイクロプラズマ・ナノプラズマ利用のポイント 　　(1)マイクロプラズマ・ナノプラズマの特徴を活かす利用の考え方 　　(2)マイクロプラズマ・ナノプラズマ発生装置のシステムへの組み込み方 　　 〜性能、大きさ、経済性等の検討〜 　　(3)マイクロプラズマ・ナノプラズマ利用に関する最近の動向 　　 〜研究・開発の進展と今後の見通し〜 �U．マイクロプラズマ・ナノプラズマの応用展開 　１．新材料開発　〜新材料の合成・改質と製造〜 　　(1)材料デバイスプロセス 　　(2)ナノクラスター・微粒子の合成 　　(3)薄膜生成、表面改質 　２．環境浄化 　　(1)水質浄化技術 　　　�@ラジカルによる水処理技術 　　　�A水中生成放電プラズマを利用した湖沼浄化技術 　　(2)殺菌・洗浄技術（バイオフィルム等） 　　(3)大気浄化技術（排ガス浄化、悪臭浄化、脱臭等） 　　(4)廃棄物・有害物質処理技術 　３．推進・光源 　　(1)プラズマ推進器 　　(2)次世代半導体リソグラフィ用短波長光源 　４．医療・バイオテクノロジー 　　(1)殺菌・滅菌作用（食品や製品加工時の殺菌、医療機器の滅菌等） 　　(2)医療装置（歯科治療や癌治療などの医療機器への応用） 　　(3)ドラッグデリバリーシステム 　　(4)センシングプロセス 　５．分析・計測 　　(1)バイオセンサ 　　(2)極微量元素分析 　　(3)超微少量試料の分析 �V．質疑応答

−名刺交換会− セミナー終了後、ご希望の方はお残り頂き、参加者間での名刺交換会を実施させて頂きます。

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