超精密生産技術大系 第１巻
− 基 本 技 術 −
［コードNo.03FJT037］
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■造 本／
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Ｂ５判 上製クロス装幀
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■体 裁／
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１,１００頁
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■発 行／
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１９９５年 １０月 ２２日 (株)フジ・テクノシステム
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■定 価／
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５４,０２８円（税込価格）
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■セット頒価／
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２０１,８４４円（税込価格）
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■執 筆 陣／
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１２０名
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| 監修 |
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| 編集代表 |
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| 第１巻編集委員長 |
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| 第１巻編集委員 |
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宇根 篤暢
木下 正治
河野 嗣男 |
ＮＴＴアドバンステクノロジ(株) 厚木事業所超精密技術部担当部長
(株)東芝生産技術研究所薄膜プロセス研究部部長
東京都立科学技術大学工学部機械システム工学科教授 |
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目次
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第１編 総論
第２編 超精密切削加工法
第３編 超精密研削加工法
第４編 超精密研磨加工法
第５編 超精密マイクロ加工法
第６編 超微細パターン加工法
第７編 精密変形加工法
第８編 精密接合加工法
第９編 精密付加・付着加工法
第10編 精密変質加工法
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