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超精密生産技術大系 第１巻
− 基本技術 −

［コードNo.03FJT037］

■造本／ Ｂ５判　上製クロス装幀
■体裁／ １,１００頁
■発行／ １９９５年１０月２２日　(株)フジ・テクノシステム
■定価／ ５６,６０１円（税込価格）


■執筆陣／ １２０名

監修

小林　昭    HiMEP研究所所長

編集代表

河西 敏雄   埼玉大学工学部教授

第１巻編集委員長

河西 敏雄   埼玉大学工学部機械工学科教授

第１巻編集委員

宇根 篤暢   ＮＴＴアドバンステクノロジ(株) 厚木事業所超精密技術部担当部長
木下 正治   (株)東芝生産技術研究所薄膜プロセス研究部部長
河野 嗣男   東京都立科学技術大学工学部機械システム工学科教授

目次


第１編 総論
第２編 超精密切削加工法
第３編 超精密研削加工法
第４編 超精密研磨加工法
第５編 超精密マイクロ加工法
第６編 超微細パターン加工法
第７編 精密変形加工法
第８編 精密接合加工法
第９編 精密付加・付着加工法
第10編 精密変質加工法


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